超純水設備是利用預處理、反滲透技術、超純化處理及然后級處理等方式，將水中的導電物質幾乎完全消除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均消除至很低程度的水處理設備。‌超純水設備的工作方式主要包含離子交換技術、反滲透技術和電去離子技術（EDI）。‌‌12‌離子交換技術‌：通過離子交換樹脂消除水中的離子，包含陽離子和陰離子。這種方式能有效消除水中的雜質和離子，但需要定期再生樹脂，使用化學藥劑，成本高昂且環境不友好。‌反滲透技術‌：利用半透膜的滲透作用，通過壓力差將水中的鹽分和其他雜質截留，而讓純水通過。這種方式可以有效消除多數溶解物和懸浮物，但無法完全消除離子。‌電去離子技術（EDI）‌：組合了離子交換和電滲析技術，通過電場作用將水中的離子遷移并通過離子交換膜消除。EDI系統不用化學再生，操作簡便，上手快。且環保