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      半導體參數CV測試系統
      發布時間:2023-12-5 8:58:57  關注度:5
      半導體參數CV測試系統簡述 電容-電壓(C-V)測量普遍用于半導體參數測試方面,尤其是MOSCAP和MOSFET結構。MOS(金屬-氧化物-半導體)結構的電容是外加電壓的函數,MOS電容隨外加電壓變化的曲線稱之為C-V曲線(一般稱作C-V特性),C-V曲線測試可以方便的確定二氧化硅層厚度dox、襯底摻雜濃度N、氧化層中可動電荷面密度Q
      1、和固定電荷面密度Qfc等參數。詳詢一八一四零六六三四七六; 系統方案 普賽斯半導體功率器件C-V測試系統主要由源表、LCR表、矩陣開關和上位機軟件組成。LCR表支持的測量頻率范圍在0.1Hz~1MHz,源表(SMU)負責提供可調直流電壓偏置,通過矩陣開關加載在待測件上。

      進行 C-V 測量時,通常在電容兩端施加直流偏壓,同時利用一個交流信號進行測量。一般使用的交流信號頻率在10KHz 到1MHz之間。所加載的直流偏壓用作直流電壓掃描,掃描流程中測試待測器件待測器件的交流電壓和電流,因而計算出不同電壓下的電容值。半導體參數CV測試系統優勢頻率范圍廣:頻率范圍10Hz~1MHz連續頻率點可調; 高精密度、大動態范圍:提供0V~3500V偏壓范圍,精度0.1%;自帶CV測試:自帶自動化CV測試軟件,包含C-V(電容-電壓),C-T(電容-時間),C-F(電容-頻率)等多項測試測試功能;兼容IV測試:同時支持擊穿特性及其漏電流特性測試;實時曲線繪制:軟件界面直觀展示項目測試數據及曲線,便于監控;​擴展性強:系統采用模塊化設計,可以按照需求靈活搭配;

      聯系方式
      • 公司:武漢普賽斯儀表有限公司
      • 工商認證:已認證
      • 聯系人:陶子
      • 手機:18140663476
      • 地址:東湖新技術開發區光谷大道308號光谷動力節能環保產業園10棟5樓
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