眾所周知稀有氣體包括氦、氖、氬、氪、氙、氡。在常溫下，稀有氣體的單質(zhì)為氣體，且除氬氣外，剩余幾種在大氣中含量很少（尤其是氦），故得名“稀有氣體”。
歷稀有氣體曾被叫作“惰性氣體”，這是因?yàn)樗鼈兊脑?外層電子構(gòu)型除氦為1s2（上標(biāo)）外，剩余都是8電子構(gòu)型（ns2np6，都是上標(biāo)），而這兩類(lèi)構(gòu)型都是穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)。所以，稀有氣體的化學(xué)性質(zhì)很不活潑，所以過(guò)去人們?cè)J(rèn)為他們與其他元素之間不會(huì)產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，稱(chēng)之為“惰性氣體”。但是正是這種..的概念束縛了人們的思想，阻礙了對(duì)稀有氣體化合物的研究。1962年，在加拿大工作的26歲的英國(guó)青年化學(xué)家N。Bartlett合成了..個(gè)稀有氣體化合物Xe[PtF6]（6為下標(biāo)），引起了化學(xué)界的較大興趣和重視。很多化學(xué)家競(jìng)相開(kāi)展這方面的工作，先后陸續(xù)合成了多種“稀有氣體化合物”，加速了稀有氣體化學(xué)的發(fā)展。而“惰性氣體”一名也不再符合事實(shí)，故改稱(chēng)稀有氣體。
稀有氣體的物理性質(zhì)和化學(xué)性質(zhì)
空氣中約含1％（體積百分）稀有氣體，其中絕多數(shù)是氬。稀有氣體都是無(wú)色、無(wú)臭、無(wú)味的，微溶于水，溶解度隨分子量的增加而增大。稀有氣體的分子都是由單原子組合而成的，它們的熔點(diǎn)和沸點(diǎn)都很低，隨著原子量的增加，熔點(diǎn)和沸點(diǎn)增大。它們?cè)诘蜏貢r(shí)均可以液化。稀有氣體原子的.外層電子結(jié)構(gòu)為ns2np6（氦為1s2），是.穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)，所以，在一般條件下不與其他元素作用，長(zhǎng)期以來(lái)被認(rèn)為是化學(xué)性質(zhì)極不活潑，不能產(chǎn)生化合物的惰性元素。直到1962年，英國(guó)化學(xué)家N。巴利特才利用強(qiáng)氧化劑PtF6與氙作用，制得了..種惰性氣體的化合物Xe[PtF6]，以后又陸續(xù)合成了其他惰性氣體化合物，并將它的名稱(chēng)改為稀有氣體。
空氣是制取稀有氣體的主要原材料，通過(guò)液態(tài)空氣分級(jí)蒸餾，可得稀有氣體混合物，再用活性炭低溫選擇吸附法，就能將稀有氣體分離開(kāi)來(lái)。
什么是成都高純氣體管道配管技術(shù)？所謂的高純氣體配管技術(shù)，是包括高純供氣系統(tǒng)的正確設(shè)計(jì)、閥門(mén)管件及附件的合理選擇、管道施工、安裝試驗(yàn)和測(cè)試等；是高純氣體供應(yīng)系統(tǒng)的主要組合而成部分；是..高純氣體anquan穩(wěn)定地輸送到用氣點(diǎn)，且符合設(shè)備使用標(biāo)準(zhǔn)的核心技術(shù)。
高純氣體管道工程應(yīng)用范圍
高純氣體管道系統(tǒng)工程有著能..氣體的純度、..標(biāo)準(zhǔn)氣體流量、壓力穩(wěn)定和量值傳遞避免發(fā)生改變等特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體、集成電路、光電、汽車(chē)、新能源、納米、光纖、微電子、石化、生物醫(yī)藥、各種實(shí)驗(yàn)室、科研研究所、標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試等高科技行業(yè)。
常見(jiàn)氣體類(lèi)別：
在電子工業(yè)中普通氣體，也稱(chēng)大宗氣體(Bulkgas)：氫氣(H2)、氮?dú)?N2)、氧氣(O2)、氮?dú)?A2)等；除普通氣體外，電子工業(yè)還能用到大量的高純特種氣體(Specialtygas)，如：SiIH
4、PH
3、B2H
6、CL、HCL、CF
4、POCL
3、BCL
3、SIF
4、CLF
3、C2F
6、N2O等等。這些特殊氣體根據(jù)氣體性質(zhì)，類(lèi)別通常劃分為腐蝕性、毒性、易燃性、助燃性、惰性等。
半導(dǎo)體行業(yè)中使用的電子特種氣體，很多都是對(duì)人體有害的。比如，半導(dǎo)體制程工藝zui常見(jiàn)的特種氣體：硅烷（SiH4）就具有自燃特性，萬(wàn)一發(fā)生泄漏，它們就會(huì)與空氣中的氧氣劇烈反應(yīng)并開(kāi)始燃燒。再比如磷烷（PH3）和坤烷（AsH3）也具有性，任何輕微的泄漏均可能對(duì)人們的生命造成傷害。正是由于這些顯著的風(fēng)險(xiǎn)，所以對(duì)于高純氣體供應(yīng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)的anquan性要求特別高。
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